반도체 웨이퍼 가공 공정 및 잠재적 유해인자에 대한 고찰
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반도체 웨이퍼 가공 공정 및 잠재적 유해인자에 대한 고찰
목록구분 | 소장기록 |
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식별번호 | F-BT-1890 |
표제 | 반도체 웨이퍼 가공 공정 및 잠재적 유해인자에 대한 고찰 |
내용 | 대학직업환경의학회지 제 23권 제3호 게재 논문 |
기록물유형 | 문서류 |
기록물형태 | 일반문서 |
원본소장처 | 장재연 |
생산자 | 박동욱; 변혜정; 최상준; 정지연; 윤충식; 김치년; 하권철; 박두용 |
생산일자 | [2011-09-00] |
키워드 | |
원본형태 | 비전자 |
크기분량 | 4.45MB; 10쪽 |
포맷 | |
언어 | 한국어 |
관리번호 | 84021 |